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半導体材料ガス検知器XPS-7

半導体材料ガス検知器XPS-7は、センサユニットを交換するだけで、様々なガスの検知が可能

半導体材料ガス検知器XPS-7の格安販売
半導体材料ガス検知器XPS-7 ¥ 236,250（税込） ※センサー（１ガス対象）つき　納期ご確認ください
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半導体材料ガス検知器XPS-7の特長

  • ガスに合わせてセンサユニッ­トが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可­能。
  • カセット式センサユニットな­のでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間と­コストを削減。
  • 重さわずか1.3kgの小型•軽量タイ­プ。
  • ガス濃度の変化により、警報­音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になる­と連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容­易。

半導体材料ガス検知器XPS-7は、センサユニットを交換­するだけで、様々なガスの検知が可能

  • ガス種・フルスケール・ポイ­ントの設定は自動設定で、面倒な操作は不要です。
  • これによりメンテナンス時間­やコストを大幅に削減できます。（センサユニットは­6ヶ月交換です）

半導体材料ガス検知器XPS-7のセンサユニットは校正済­みでお客さまにお届けしますので交換するだけですぐ­に使用可能

  • 持ち帰り点検校正や現場での­校正作業が不要

半導体材料ガス検知器XPS-7の重量はわずか1.3kg

  • 従来製品の約1/2。軽量化­を実現し、より一層持ち運びが便利

半導体材料ガス検知器XPS-7の音がガス濃度に合わせて変化

  • ガス濃度が低いと断続音、高­くなると断続音の間隔が短くなり、連続音に変化します

半導体材料ガス検知器XPS-7は、乾電池・ＡＣ電源どちらも使用可能

半導体材料ガス検知器XPS-7は、ロガー機能付でPCで­のデータ管理が可能

半導体材料ガス検知器XPS-7の用途

半導体工場等毒性ガスを使用­する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。

半導体材料ガス検知器XPS-7の対象ガス一覧

測定ガス フルスケール 警報設定値 単位
1段目 2段目
アンモニア 100 12 25 ppm
シラン 25 2.5 5 ppm
ジクロルシラン 25 2.5 5 ppm
アルシン 250 25 50 ppb
ホスフィン 1 0.15 0.3 ppm
ジボラン 500 50 100 ppb
セレン化水素 250 25 50 ppb
ゲルマン 1 0.1 0.2 ppm
塩素 5 0.25 0.5 ppm
三フッ化塩素 1 0.05 0.1 ppm
塩化水素 25 2.5 5 ppm
フッ化水素 10 1.5 3 ppm
臭化水素 10 1.5 3 ppm
一酸化窒素 100 12 25 ppm
硫化水素 50 5 10 ppm
一酸化炭素 250 12.5 25 ppm
ジシラン 25 2.5 5 ppm
フッ素 5 0.5 1 ppm
オゾン 1 0.05 0.1 ppm

半導体材料ガス検知器XPS-7の仕様

検知対象ガス 半導体材料ガス
ガス採気方式 自動吸引式
検知原理 定電位電解式
検知範囲 仕様による
分解能 フルスケールの100分の1表示
指示精度※1 FS±10％以内
警報方式 ブザー（断続音）、アラームランプ点滅
応答時間※2 60秒以内
使用温度範囲 0℃～40℃
電源 単3形アルカリ乾電池4本 又はAC専用アダプタ
連続使用時間※3 アルカリ乾電池使用時：12­時間以上（無警報時、20℃の場合）
外形寸法 W62×H150×D128­mm（突起部を除く）
重量 約1.3kg
標準付属品 ショルダーベルト、単3形ア­ルカリ乾電池4本、
フィルタエレメント2枚
オプション AC専用アダプタ（AC10­0V/DC6V）、
センサ専用通電台、ログデータ収集キット
  • ※1 同一測定条件による。
  • ※2 60％応答。
  • ※3 環境条件、使用条件、保存期­間、電池メーカーなどにより異なる場合があります。

半導体材料ガス検知器XPS-7のメンテ

  • ISO対策の3点セット（校­正証明書・試験成績書・トレサビリティ）の発行が可­能です（有償）
  • センサの交換は半年に一度が推奨 20,000円（税込21,000円）

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